Приборостроение и электроника

Приборостроение и электроника

Деионизованная вода является незаменимым агентом, используемым в производстве печатных плат, интегральных микросхем, электронных компонентов, полупроводников. По сравнению с другими отраслями промышленности, вода для микроэлектроники требует особо тщательной подготовки.

Для нужд электронной промышленности используется глубоко деионизированная вода согласно ОСТ 11.029.003-1980. Этот стандарт предусматривает три марки деионизованной воды:

- вода марки А, удельное сопротивление 18 МОм*см
- вода марки Б, удельное сопротивление 17 МОм*см
- вода марки В, удельное сопротивление 10 МОм*см

В зависимости от типа технологического процесса, может требоваться вода разной степени деионизации: от дистиллированной, до сверхчистой. Производство ИМС разделяют на три этапа: изготовление материалов, производство пластин и монтаж. Максимальное потребление сверхчистой воды приходится на второй этап, на котором происходит отмывка готовых изделий.

Применяемые технологии подготовки деионизованной воды для микроэлектроники могут варьироваться и зависят от качества исходной воды, а также водоисточника. Выделяют несколько основных стадий:

- механическая фильтрация (автоматические самопромывные сетчатые и дисковые фильтры, мешочные фильтры)
- регулирование температуры (пластинчатые теплообменники)
- предварительная очистка исходной воды (аэрация, ультра
фиолетовое обеззараживание, автоматические напорные фильтры: угольные, обезжелезивания, умягчения, многослойные)
- обессоливание (ионообменные фильтры, ФСД, одно или двухступенча
тый обратный осмос, установка электродеионизации)
- хранение и раздача деионизаванной воды (накопительные емкости и петля раздачи)

Если требуется получение сверхчистой воды, после установки обратного осмоса устанавливаются один или несколько последовательно подключенных ионообменных фильтра со смолой в Н+ и ОН- форме. За счет стабильно высокого состава воды на выходе с мембранной установки, ресурс ионообменных смол становится очень высоким.

Сейчас все большее распространение получает технология электродеионизации. Главным преимуществом электродеионизатора по сравнению с традиционной линейкой оборудования для деионизации воды (катионобменный фильтр – анионообменный фильтр – фильтр смешанного действия) является отсутствие необходимости в применении реагентов (кислота, щелочь) для регенерации ионообменных смол. Комбинирование электродеионизации с технологией обратного осмоса позволяет получать воду с высокими показателями чистоты и меньшими эксплуатационными затратами на ее подготовку. Но этот метод требует больших финансовых затрат для его внедрения.

ООО «Экофил» обладает уникальным опытом в разработке, изготовлении, шеф-монтаже, пуско-наладке и сервисном обслуживании систем подготовки деионизованной воды для микроэлектроники. Мы реализуем проекты «под ключ» и всегда подходим комплексно и индивидуально к решению проблем Заказчика по водоочистке.